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Method for producing layers of silicon carbide

Patent application

Siegmund Greulich-Weber and Ruggero Schleicher-Tappeser: Patent application PCT/EP 2018/062007, Priority 09.06.2017, Publication 03.12.2018, WO2018224438A1, US2020165171A1

By Ruggero Schleicher-Tappeser | 3. Dezember 2018 | Material (A), Patent |
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